对于紊流洁净室,由于主要依靠空气的稀释作用来降低室内污染程度,所以主要采用换气次数的概念,而不是直接采用速度的概念,但对室内空气流动的速度也有以下要求;
1.送风口出口处的气流速度不宜过大。与简单空调房相比,速度衰减更快,扩散角更大。
2.吹过水平面的气流速度(如车损时的回流速度)不宜过大,以免将表面颗粒吹回气流中,造成二次污染,此速度不宜干燥0.2m/s。
对于平流洁净室俗称层流洁净室,高效送风口安装,因为它主要靠“活塞挤压作用的气流来排除污染”,所以截面上的速度是一个非常重要的指标。以往全部参考美国20gB标准,液槽密封高效送风口,采用0.45m/s。但人们也明白,这样大的风速所需要的通风非常大,不锈钢高效送风口,为了节约能源,也都在探索降低风速的可行性。
净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,高效送风口,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
净化工程单向流动洁净室一般有两种类型,即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中,空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中,空气从天花板流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时,采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向(垂直或水平)以0.3到0.5米/秒(60到100英尺/分钟)的平均速度通过空间的流动。
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