空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样，高效送风口的安装，气流向下流过房间，把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后，再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除，而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里，风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里，机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。
净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，高效过滤送风口，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，高效送风口批发，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
硅片直径为100um，温升1度，上升0.24um线性膨胀，高效送风口，所以必须有±0.1度的恒温，湿度也要求值一般较低，因为人在出汗，产品会有污染，特别怕大半导体车间，车间温度不应超过25度，湿度高的问题较多。当相对湿度超过55％时，冷却水管壁会结露，如果在精密设备或电路中发生，会引起各种事故。当相对湿度为50％时，容易生锈。
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